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MaxDamp™-針對(duì)動(dòng)態(tài)載荷和偏移載荷的氣浮支腿系統(tǒng)
更新時(shí)間:2020-11-18   點(diǎn)擊次數(shù):2460次

 

MaxDamp-針對(duì)動(dòng)態(tài)載荷和偏移載荷的氣浮支腿系統(tǒng)

MaxDamp是TMC在氣浮光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)上針對(duì)動(dòng)態(tài)載荷或偏移載荷產(chǎn)品的一個(gè)創(chuàng)新。

在需要震動(dòng)隔離的實(shí)驗(yàn)室里經(jīng)常遇到桌面上有動(dòng)態(tài)載荷或者高速移動(dòng)的有效載荷,普通的光學(xué)平臺(tái)支腿很難在這種條件下同時(shí)保持氣浮桌面的穩(wěn)定性和平臺(tái)隔振的有效性,但MaxDamp的出現(xiàn)有效的解決了這些問題。

 

MaxDamp®將TMC傳統(tǒng)的Gimbal Piston空氣隔振器與內(nèi)部防篡改粘性阻尼相結(jié)合,為此類應(yīng)用提供了額外的阻尼。

 

當(dāng)需要較高阻尼時(shí),它將成為一個(gè)好的選擇,而且它的減振性能只是略微有一點(diǎn)減弱,卻獲得了更快的有效負(fù)載穩(wěn)定時(shí)間和更高的阻尼水平。

 

MaxDamp適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高負(fù)載偏移、高速XY電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷,如半導(dǎo)體檢測(cè)、光刻機(jī)以及其他具有相對(duì)較高動(dòng)態(tài)載荷的電動(dòng)工作臺(tái)的儀器,對(duì)于具有機(jī)器人運(yùn)動(dòng)或電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷,MaxDamp®提供的有效隔振并主動(dòng)穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動(dòng)更使其成為優(yōu)良的解決方案。

 

如果您的動(dòng)態(tài)載荷或偏移載荷非常大,MaxDamp®的阻尼性依舊不能滿足您的需求,那么UltraDamp™ - 高阻尼空氣隔振系統(tǒng) 將會(huì)滿足您的這些高阻尼需求。

 

性能特點(diǎn):

1. 從4-5 Hz開始的水平和垂直隔振
2 共振的小放大(3-5 dB)

3模塊化設(shè)計(jì)。

4結(jié)合了自調(diào)平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢(shì),并具有高阻尼作用

5可升級(jí)到Electro-Damp®主動(dòng)隔振

6非常適合具有機(jī)器人運(yùn)動(dòng)或電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷,可提供所需的隔振并主動(dòng)穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動(dòng)

 

TMC的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平對(duì)比圖表:

GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™的訂購(gòu)示例表:

應(yīng)用照片:

 

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦:

1  激光控制:激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

2  探測(cè)器:光電探測(cè)器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測(cè)器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

3  定位與加工:納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、多維位移臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、微型操作器等等

4  光源:半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

5  光機(jī)械件:用于光路系統(tǒng)搭建的高品質(zhì)無應(yīng)力光機(jī)械件,如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

6  光學(xué)平臺(tái):主動(dòng)隔振平臺(tái)、氣浮隔振臺(tái)、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺(tái)、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

7  光學(xué)元件:各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

8 染料:激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等

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